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환경
초순수 제조공정 분석
초순수 제조공정 분석
초순수는 원수에 함유된 물질을 제거하여 이론적 순수 (비저항18.25MΩ.cm)에 근접한 물을 의미 합니다. 초순수는 반도체 산업에서 가장 중요한 Utility로 엄격한 기준에 따라 관리가 필요하다. 또한 반도체 제조공정에서 불량률을 줄이기 위하여 초순수 수질 기준도 강화되고 있으며, 강화되는 수질을 충족하기 위하여 초순수 제조공정도 복잡해지고 있습니다. 초순수 제조공정은 전처리, 순수처리, 초순수처리 공정으로 구분 할 수 있습니다. 초순수 제조공정에는 전처리UF, RO, 탈기막, Final UF...
자세히 보기2023-02-20 김문기(mkkim)- 1
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초순수 제조공정 분석
초순수 제조공정 분석
초순수는 원수에 함유된 물질을 제거하여 이론적 순수 (비저항18.25MΩ.cm)에 근접한 물을 의미 합니다. 초순수는 반도체 산업에서 가장 중요한 Utility로 엄격한 기준에 따라 관리가 필요하다. 또한 반도체 제조공정에서 불량률을 줄이기 위하여 초순수 수질 기준도 강화되고 있으며, 강화되는 수질을 충족하기 위하여 초순수 제조공정도 복잡해지고 있습니다. 초순수 제조공정은 전처리, 순수처리, 초순수처리 공정으로 구분 할 수 있습니다. 초순수 제조공정에는 전처리UF, RO, 탈기막, Final UF...
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