환경
초순수 제조공정 분석 (동향보고서)
2023-02-20
org.kosen.entty.User@42ff2fa5
김문기(mkkim)
- 1
초순수는 원수에 함유된 물질을 제거하여 이론적 순수 (비저항18.25MΩ.cm)에 근접한 물을 의미 합니다. 초순수는 반도체 산업에서 가장 중요한 Utility로 엄격한 기준에 따라 관리가 필요하다. 또한 반도체 제조공정에서 불량률을 줄이기 위하여 초순수 수질 기준도 강화되고 있으며, 강화되는 수질을 충족하기 위하여 초순수 제조공정도 복잡해지고 있습니다. 초순수 제조공정은 전처리, 순수처리, 초순수처리 공정으로 구분 할 수 있습니다. 초순수 제조공정에는 전처리UF, RO, 탈기막, Final UF등 다양한 종류의 분리 막이 사용되고 있으며, RO 후단은 잔류 이온 제거를 위하여 이온교환 능력을 가진 수지를 이용하여 탈염을 실시 합니다. 최근에는 이온교환 공정에 재생 설비가 불필요한 EDI의 적용이 증가 되고 있습니다. RO 후단의 잔류 유기물은 TOC-ox에 의해 CO2로 산화되고 이온교환 공정에서 제거 됩니다. 초순수 제조는 소재, 부품, 장비, 설계, 시공, 운영, 수질 분석등 다양한 기술을 필요로 합니다.
DOI
한글 키워드
영문 키워드
보고서 파일
- 파일 암호 요청시 www.kosen21.org 을 입력해주세요.
-
코센리포트
평점
해당 콘텐츠에 대한 회원님의 소중한 평가를 부탁드립니다. -
5.0 (2개의 평가)
댓글 1
비공개 댓글
게시