2015-06-11
org.kosen.entty.User@5922b3e1
배지환(miracle0145)
- 1
ITO 단일 박막으로 100nm 두께로 만들었는데 여기에 키슬리 2700으로 일정 전압을 걸어 발열 특성을 보고싶습니다. 그런데 ITO 박막에 Cu 전극을 올리고싶은데 어떻게 올리면 좋을지 코멘트 달아주시면 감사하겠습니다!
- ITO
- 전극
- 발열체
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
신동협님의 답변
2015-06-11- 4
안녕하세요.
Cu 전극의 경우 상기한 e-beam evaporator 혹은 sputtering으로 비교적 잘 증착됩니다. 만약 Cu 전극의 패턴이 필요하시다면 ITO 앞에 mask와 같이 증착하시면 될 것 같습니다.
감사드립니다! 제가 고민해결 됐습니다!!