Thin film depth profiling by ion beam analysis
2016-09-07
org.kosen.entty.User@7c7b8f7d
김덕종(dkim03)
행사&학회소개
1. 이온 빔 분석의 역사
2. 박막 두께 측정 방법들
3. 이온 빔 분석의 최근 진전
4. 정량적인 두께 분석: 기준으로서의 이온 빔 분석
5. 결론
2. 박막 두께 측정 방법들
3. 이온 빔 분석의 최근 진전
4. 정량적인 두께 분석: 기준으로서의 이온 빔 분석
5. 결론
보고서작성신청
최근 기능성 박막이 각광을 받으면서 박막의 두께를 정확하게 측정하는 일이 많은 연구자들에게 있어 중요한 일이 되고 있다. 본 논문은 이와 관련하여 이온 빔 분석 방법을 중심으로 방대한 그간의 동향을 잘 정리하고 있어 국내의 관련 연구자들에게 유용한 정보를 준다고 판단하여 추천하는 바이다.