Electrochemical micro/nano-machining: principles and practices
2017-02-09
org.kosen.entty.User@2bffbe92
권길성(kks840214)
행사&학회소개
1. Introduction
2. EC-MNM for direct writing
3. EC-MNM for 3D-MNS fabrications
4. EC-MNM for surface polishing and planarization
5. Summary and propects
2. EC-MNM for direct writing
3. EC-MNM for 3D-MNS fabrications
4. EC-MNM for surface polishing and planarization
5. Summary and propects
보고서작성신청
본 논문은 초대규모 집적회로(ultra-large scale integrated circuits), 미세전자기계시스템(microelectromechanical systems), 마이크로종합분석시스템(microelectromechanical system), 고정밀 광학시스템 등과 같은 분야에서 요구하는 초정밀 전기화학적 가공기술에 대한 이론 및 최신동향을 다루고 있다. 광범위한 제작 기술에 대한 이론과 개선을 위한 연구가 요약되었기 때문에, 분석 시 마이크로/나노 연구를 수행 중인 연구자에게 도움이 될 것이라 예상하여 본 논문의 분석을 의뢰한다.