Review - Investigation and review of the thermal, mechanical, electrical, optical, and structural properties of atomic layer deposited high-k dielectrics
2018-03-06
org.kosen.entty.User@33cd024f
김재유(kimjaeyoo74)
행사&학회소개
1. Introduction
2. Experimental
3. Results
4. Conclusions
5. Acknowledgments
6. References
2. Experimental
3. Results
4. Conclusions
5. Acknowledgments
6. References
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원자층 증착(Atomic Layer Deposition)에 의한 박막 증착에 대한 연구가 활발히 진행중입니다. 이 리뷰 논문은 aluminum oxide와 같은 고유전체 박막 증착에 대한 논문입니다. 세라믹 계열 박막은 여러 가지 전자 제품 등에 쓰이고 있습니다. 전자 제품 성능 향상을 위해 매우 유익한 논문이라고 생각합니다.