[11월 사전주제] 광학분야를 위한 나노패턴 기술 동향 조사
2018-11-13
org.kosen.entty.User@3dab2dfa
오진우(mk235)
행사&학회소개
1. 개요
2. 나노 리소그래피 기술
2.1. 전자빔 리소그래피 (E-beam lithography)
2.2. 유도 자기 조립 (Directed self-assembly)
2.3. 나노 임프린트 (Nano imprint) 기술
2.4. 극자외선 리소그래피 (Extreme UV lithography)
3. 나노 구조 광학소자
3.1. 블록공중합체 자기 재조립현상을 이용한 광결정의 제작
3.2. 나노임프린트 리소그래피를 이용한 파장 이하 주기 광학 소자
4. 결론
Reference
2. 나노 리소그래피 기술
2.1. 전자빔 리소그래피 (E-beam lithography)
2.2. 유도 자기 조립 (Directed self-assembly)
2.3. 나노 임프린트 (Nano imprint) 기술
2.4. 극자외선 리소그래피 (Extreme UV lithography)
3. 나노 구조 광학소자
3.1. 블록공중합체 자기 재조립현상을 이용한 광결정의 제작
3.2. 나노임프린트 리소그래피를 이용한 파장 이하 주기 광학 소자
4. 결론
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