[7월 사전주제] 반도체 클린룸 청정기술 동향
2023-07-27
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이종민(kjist98)
행사&학회소개
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최첨단 글로벌 반도체 산업은 nano-scale 소자의 미세화와 복잡한 제조공정/소재 및 설계의 혁신으로 최근 국가간 기술경쟁력의 핵심분야로 자리매김 되고있다. 따라서 반도체 제품의 품질 및 생산성 우위 선점을 위해 제조환경 (Cleanroom) 제어 기술 또한 매우 중요하다. 반도체 제조환경은 제품의 불량 및 수율과도 매우 밀접한 연관성이 있어 클린룸 기술 역시 반도체 선진국의 전략산업으로 성장하고 있다. 이에 글로벌 최신 반도체 클린룸 청정기술 동향에 대해 조사코자 합니다. 감사합니다 ^^