동향

[12월 사전주제] 반도체 패키징에서 대기압 플라즈마 적용

디스플레이에서는 꽤나 적용되고 있는 대기압 플라즈마 기술을 반도체 Wafer 에도 적용 가능하지 않을까? 라는 생각이 들어 관련하여 실험을 하였고, 반도체 의 부분적인 공정에 적용이 가능하다는 것을 밝힌 논문을 올해 발표 했고, 해당 내용을 중심으로 레포트를 쓰고 관심 있는 분과 커뮤니티를 생성하기 위하여 레포트를 신청 드립니다.