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동향

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오사카대학 / FPD전시회출장 보고서

2010-08-25 org.kosen.entty.User@330d41bd 나종주(jjrha)

분야

재료

발행기관

나종주(jjrha@kims.re.kr / 82-055-280-3554)

발행일

2010-04-13~2010-04-16

첨부파일

일본 (오사카 대학/FPD전시회) 출장 보고서

1. 방문 일정: 04.13(화) - 04.16(목)

2. 출장자: 재료연구소 나종주 (부분 참가, 타 연구비)

3. 출장목적: 대기압 플라즈마를 이용한 Si박막 고속 및 저온 성장 기술 수집 및 평면 디스플레이 부품 소재에 적용된 사례 분석

4. 출장 내용 및 접촉인물

1) 오사카 대학 (Functional materials Lab. Dep. Precision Science & Technology)

- 접촉인물: Prof. Kiyoshi Yasutake, Prof. Hiroaki Kaikuchi, Prof. Hiromasa Ohmi

- 목적: 대기압 플라즈마를 이용하여 PET와 같은 폴리머 위에 Si박막을 증착하고 태양전지에 응용할 수 있는 기술 분석

- 수집 내용:
가) Atmospheric-Pressure (AP) Plasma Process의 박막 형성에 대한 기초연구, 저온 반도체 제조 공정 개발, 저비용 양산공정의 적용성 연구 등을 중점적으로 수행
나) APECT (AP-Plasma Enhanced Chemical Transport))를 통하여 Si, Ge, SiGe, SiC, CNT... 등의 순도를 저비용으로 높임
다) 자체 제작한 대기압 플라즈마 장비의 견학과 장비 구성에 따른 Si박막 증착 공정 상의 장단점 협의
라) 향후 공동 연구를 위한 협의 및 인력 방문 제의
마) FPD의 부품에 적용된 폴리머 소재의 표면 개질 사례 및 향후 제품의 발전 방향과의 합치성 분석

- 시사점: 진공 플라즈마와 달리 대기압 플라즈마 기술은 최근에 각광을 받고 있으며, 특히 폴리머와 같은 소재는 진공 플라즈마의 이온 충격에 의해 표면이 퇴화되는 문제가 있는 반면에 대기압 플라즈마에서는 이온들이 잦은 충돌로 인해 높은 에너지를 가질 수 없어 폴리머 표면에 손상을 거의 입히지 않는다. 또한, 대기압에서 플라즈마를 발생시키기 때문에 폴리머에 적합한 롤투롤 공정에 쉽게 접목할 수 있는 장점을 가진다. 국내에서도 대기압 플라즈마 기술을 연구하고 있으나 주로 대학에서 기초연구로 수행되고 있으며 산업체에 적용된 사례는 PCB, LCD TV용 글래스 세정 등 표면 세정의 응용에 한정되어 있다. 반면에 오사카 대학을 비롯하여 일본과 독일에서는 새로운 분야인 플렉시블 디스플레이, 태양전지, 수질정화, 공기정화 등 다양한 분야로의 응용을 위한 연구를 수행하고 있으며 괄목할 만한 연구결과를 발표하고 있다. 따라서 국내에서도 대기압 플라즈마 기술의 장단점을 분석하여 새로운 산업에의 응용에 대한 고유한 기술의 개발이 필요한 시점이라고 판단된다.

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