1998-12-05
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국내 반도체 산업의 국가경쟁력 강화를 위한 방안을 모색하기 위하여 외국의
반도체 산업기술 하부구조 구축상황을 비교 검토하였다. 이를 바탕으로 반도체
산업기술 하부구조의 기초기반기술중 국가연구소가 담당할 수 있는 정밀측정 및
분석, 반도체 기초원료 및 핵심장비 부품에 대한 기술들을 정리하여 하부구조
구축에 필요한 연구계획을 도출하였다.
<목 차>
1장 서론
1. 배경
2. 필요성
3. 국제비교 및 외국 동향
4. 반도체 인프라 개발방향
2장 반도체 기반기술의 분류 및 개발 방향
1. 분류방법 및 총괄분류표
2. 기반기술 세부분류 및 개발방향
3장 반도체 기반기술 개발 기획안
1. 최종 목표 및 총괄기획안
2. 소위원회별 요약
3. 세부연구대상의 연차별 목표
4장 연구수행방법
1. 연구개발 수행체계
2. 추진방법 및 전략
3. 연구관리 및 평가
4. 기대성과 및 연구결과의 활용
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