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본 자료는 과학 기술부에서 수집한 자료로서 다음과 같은 자료를 싣고 있다. 최근의 마이크로머신기술의 연구현황과 전망 마이크로머신과 마이크로메커니즘의 특집에 관하여 마이크로머신/마이크로메카니즘과 로봇 Prospect for IC-Based Micro Electmechanical Devices 마이크로메커니즘의 현상과 금후의 과제 정전 마이크로 모터의 신전개 마이크로 기계부품의 시작 실리콘 마이크로 벨브와 응용 실리콘을 사용한 정전모터 가속도 센서와 광파이버 자이로 집적화 촉각센서 배열 마이크로 메커니즘에 사용되는 박막재료의 평가 입전소자의 급속변형을 이용한 마이크로 로봇팔 형상기억합금을 이용한 마이크로 메커니즘 입체적으로 관찰이 가능한 현미경하에서의 마이크로 조작 형상기억합금 미니어춰 그리퍼와 마이크로 엑츄에이터 마이크로 스터링 엔진 압전소자에 의한 마이크로 메커니즘 마이크로 그립 시스템 마이크로 메커니즘/센서/로봇에 관하여 통산성 과학기술 연구개발제도에 근거한 마이크로머신기술의 연구가밸 개요 마이크로머신의 설계론 마이크로 센서의 개요 마이크로 엑츄에이터와 구동원리 마이크로머신의 자립분산제어 마이크로머신을 위한 미세가공기술 마이크로머신과 마이크로 재료학, 마이크로 부품의 시작예 마이크로머신의 바이오기술에의 응용 마이크로 조작

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