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파일암호: www.kosen21.org
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대기를 사용하여도 됩니다.
저희는 테슬라코일에 high frequency로 코로나 방전을 일으키는 핸드 플라즈마 장비를 쓰는데 bonding 잘 됩니다. 처리시간은 한 15초 정도 됩니다.
전에는 RIE를 이용해서 bonding 했었는데 진공잡고 하기가 시간도 오래걸리고 불편해서 핸드 플라즈마 장비를 요즘은 사용하고 있습니다.
정말 많은 도움이 됐습니다! 감사드립니다.