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Chamber 내부의 온도를 엄밀하게 나눈다면, Chamber 자체의 온도와 Plasma 온도로 구분이 되지만, 위에서 언급한데로라면 Plasma가 켜지지 않은상태의 상온을 얘기 하는것인데, 또한가지 문제점이 Chamber온도를 Control하는 Chiller 의 제어 능력치가 포함되어야 한다는것입니다. Chiller자체가 25도 상온을 유지 한다면 외부로부터 열확산현상등이 적을것입니다. 거의 없다고 보시는것이 좋겠네요.