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5G기준으로 ECCP Mode로 진행을 하였을때 7~8Kw의 Power로 진행하면 대략 3000ű10%정도가 etch되는것으로 알고 있습니다. 하지만, 단순히 Cl2 Gas만 가지고서는 무리가 있고, 여기게 BCl3등을 추가하여야만 가능한 결과 입니다. 참고가 되셨기를
감사합니다 ^^