동향

반도체 제조 공정에서 발생하는 TMAH 폐수처리 기술

반도체 제조 공정에서 발생하는 TMAH 폐수처리 기술로, 반도체 생산량 증가로 폐수 발생량도 같이 증가 하고 있으나
처리에 어려움을 격고 있는 실정입니다. 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드(TMAH)는 독성 난분해성 폐수로, 일반적인 물리화학/생물 학적 처리 방법으로 제거가 어려운 폐수 입니다.
TMAH는 생물학적 분해가 어렵고 독성이 높기 때문에, 반 도체 제조공정 폐수처리장에 유입시 생물학적 처리 효율 저하, 생태독성 유발등의 원인으로 안정적인 폐수처리를 위하여 중요한 이슈가 되고 있습니다