2021-10-15
org.kosen.entty.User@7b1bee01
김문기(mkkim)
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반도체 제조 공정에서 발생하는 TMAH 폐수처리 기술로, 반도체 생산량 증가로 폐수 발생량도 같이 증가 하고 있으나
처리에 어려움을 격고 있는 실정입니다. 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드(TMAH)는 독성 난분해성 폐수로, 일반적인 물리화학/생물 학적 처리 방법으로 제거가 어려운 폐수 입니다.
TMAH는 생물학적 분해가 어렵고 독성이 높기 때문에, 반 도체 제조공정 폐수처리장에 유입시 생물학적 처리 효율 저하, 생태독성 유발등의 원인으로 안정적인 폐수처리를 위하여 중요한 이슈가 되고 있습니다
처리에 어려움을 격고 있는 실정입니다. 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드(TMAH)는 독성 난분해성 폐수로, 일반적인 물리화학/생물 학적 처리 방법으로 제거가 어려운 폐수 입니다.
TMAH는 생물학적 분해가 어렵고 독성이 높기 때문에, 반 도체 제조공정 폐수처리장에 유입시 생물학적 처리 효율 저하, 생태독성 유발등의 원인으로 안정적인 폐수처리를 위하여 중요한 이슈가 되고 있습니다