2021-10-26
org.kosen.entty.User@4c4b3dce
이승미(ds4nzs)
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우리나라의 강점 산업분야인 반도체 제조에서 박막의 두께 측정은 반드시 필요한 과정 중의 하나입니다. 하루가 다르게 발전하고 있는 반도체 소자에 사용되는 박막의 두께 역시 얇아지고 있기에, 나노미터 수준의 두께를 정확하게 측정하고 또한 측정값을 확정하기까지에도 첨단 기술이 필요합니다. 여러 다른 측정장비들로부터 측정된 박막의 두께와 측정불확도를 산출하는 과정에도 변화와 발전이 수반되는데, 최근 반도체 박막 측정 기술의 변화와 발전 동향에 관한 보고서를 작성하고자 합니다.