2021-12-06
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김가현(wam05199)
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반도체소자 및 태양전지 제작에 필수인 실리콘 웨이퍼 및 웨이퍼의 해외 의존도를 저감하고 장비 국산화율을 높이기 위해 차세대 실리콘 웨이퍼 성장기술에 대한 중요도가 증가하고 있다. 본 레포트에서는 최근 주목받고 있는 저온 플라즈마 에피탁시를 이용한 실리콘 웨이퍼 성장법에 대해 조사하고 레포트를 작성하고자 한다.