동향

반도체 클린룸 청정기술 동향

반도체 기술을 포함한 작금의 첨단기술력 향상은 국가 경쟁력을 한 단계 제고할 수 있는 막강한 Invisible weapon이 되고 있음을 거의 매일매스 미디어를 통해 실감하고 있습니다. 나노 단위의 초정밀화 반도체 패터닝 공정과 EUV 설비의 성능을 최적화 하기 위해서는 이에 맞는 제조 환경, 즉 반도체 클린룸의 청정기술 또한 간과할 수 없는 중요한 인프라 중 하나가 되고 있습니다. 이에 필자는 최신 반도체 클린룸 청정기술의 글로벌 동향을 분석하고 국가경쟁력 제고를 위한 동향 리포트를 작성코자 합니다. 감사합니다 ^^