2023-07-26
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김문기(mkkim)
반도체 제조 에는 여러 공정을 필요하며 다양한 약품이 사용되고, 많은량의 공업용수를 필요로 한다. 제조 공정에 따라 불소함유 폐수, 고동도 유기물 함유폐수/난분해성 폐수, 고농도 질소 폐수, CIF 폐수등 다 다양한 폐수가 발생된다. 반도체 폐수는 난분해성 물질을 포함할 뿐만 아니라 고농도 암모니아가 포함 되어 C/N ratio가 매우 낮은 특성을 보인다. 또한 일부 물질은 생물학적 분해 과정에 대하여 저해 인자로 작용하기도 한다. 이러한 특성을 가진 반도체 폐수의 최적 처리 방법을 검토 하고자 한다.