KOSEN 한인과학기술자네트워크

MEMS관련 기술 동향은 연구개발정보센터(http://www.kordic.re.kr)의 해외과학기술동향 section을 통해 검색해 보시면 유용한 정보를 얻으실 수 있으실 겁니다. 아래의 자료는 산업기술정보원(http://www.kiniti.re.kr)을 통해 검색된 자료입니다. 웹을 통해 원문신청이 가능합니다. * 마이크로 머신 : MEMS 기술의 동향, 신상오, 전자공학회지 (KOR) 24(10); P1175-1196; 1997; K636 초록 : 요즘 신문이나 텔레비전을 통해서 인체 내부를 돌며 , 검사 및 치료를 하는 마이크로 로봇 등의 차세대 첨단 기술로서 , 일반 국민들에게 소개되기도 하며 , MEMS, 마이크로 머신 , 마이크로 시스템 혹은 초소형 정밀 기계 등으로 불리는 기술과 이 기술에 대한 미국 , 일본 , 유럽 , 한국 등 각 국의 기술 동향을 소개하였다 . * 반도체 기판을 직접 식각하는 초소형 정밀 기술 (MEMS), 신상모, 반도체네트워크 (KOR) (41); P194-201; 1998; L448 초록 : 초소형 정밀 기술은 여러 분야에 광범위하게 걸쳐 응용되고 있는 21 세기 핵심 기술로서 어떤 초소형 대상물을 지칭하는 것 이외 초소형 대상물을 만드는 가공 기술을 표현하는 의미도 포함하고 있다 이에 미국의 기술 동향 , 일본의 기술 동향 , 유럽 MEMS 관련 연구 동향 , 국내 기술 동향 , 국내외 시장 동향 등에 대하여 설명하였다 . * 기판 접합 공정 및 이를 이용한 MEMS/FED Packaging 기술동향, 주병권 오명환, 전기학회지 47,12(”98.12):pp.21-29 * 마이크로 머신 : MEMS 의 자동차 산업에의 응용, 조영호, 전자공학회지 (KOR) 24(10); P1241-1249; 1997; K636 초록 : MEMS 기술을 응용한 자동차용 센서는 주요 전장 시스템의 핵심 부품으로 사용되고 있으며 , 이러한 고성능 저가 감지 소자의 개발은 새로운 기능의 차세대 전 시스템 개발을 통해 자동차의 안전성 , 신뢰성 , 안락성 , 편의성 및 환경성 향상을 주도하고 있다 . 이에 , 자동차용 MEMS 센서의 시장과 기술 배경을 소개하였으며 , 첨단 전장 시스템과 핵심 소자의 개발 현황 그리고 향후 발전 방향을 전망하였다 . * 마이크로 머신 : MEMS 의 광통신 및 정보 저장 분야에의 응용, 부종욱, 전자공학회지 (KOR) 24(10); P1233-1240; 1997; K636 초록 : 최근의 MEMS 관력 학회의 발표 내용을 중심으로 연구 동향을 분석해 보면 , Optical MEMS 분야의 연구가 급격하게 늘고 있음을 알 수 있으며 , 연구의 내용도 과거 단순한 광응용 센서 중심에서 광통신 분야나 데이터 저장 시스템에의 응용에 많은 시도가 진행되고 있음을 알 수 있다 . 이에 , 최근의 MEMS 연구 분야중 광통신 및 광정보 저장 관련 내용을 중심으로 소개하였다 . * 소특집 MEMS 분야 : 초소형 구동 거울을 이용한 대화면 화상 표시 장치, 황규호; 송용진; 김상국;, 전기학회지 (KOR) 47(1); P13-18; 1998; K092 초록 : 미국·일본 등 선진국에서는 이미 오래 전부터 기술 개발 투자가 시작되어 , MEMS 응용 상품을 내놓고 있으며 , 최근에는 국내에서도 대학과 기업을 중심으로 활발히 연구 활동이 진행되고 있으며 , 이에 ( 주 ) 대우 전자의 AMA 기술 개발 동향을 대화면 화상 표시 장치 제작을 위한 MEMS 기술의 응용이라는 입장에서 살펴보았다 . * 마이크로 머시닝 기술 동향과 MEMS에의 응용, 박정호 성영권, 전기학회지 44,5(”95.5):pp.24-32 >안녕하십니까..?? > >1. 국내외의 MEMS관련 신 기술 동향을 알고 싶습니다. > >2 MEMS를 이용하여 만들수 있는 상품 Item들을 알고 싶습니다. > >감사힙니다. > >

아깝습니다. 조금 일찍 서두르셨으면, 국내 MEMS 전문가들의 강의를 들으실 수 있었을텐데요. 붙여진 연락처는 과학재단에서 있는 산학연 세미나에서 MEMS에 대한 강의를 해 주신 전문가들입니다. 발표 내용은 bikang@kosef.re.kr로 주소를 적어 보내주시면 자료를 우편으로 보내드린다는군요. ▣ 전국진 교수 (서울대학교 전기공학부) ㅇTel : 02-880-1811 ㅇE-mail : kchun@mintlab.snu.ac.kr ▣ 박제균 박사 (LG전자기술원) ㅇTel : 02-526-4554 ㅇE-mail : jkpark@LG-Elite.com ▣ 양상식 교수 (아주대학교 전자공학부) ㅇTel : 031-219-2481 ㅇE-mail : ssyang@madang.ajou.ac.kr ▣ 임근배 박사 (삼성종합기술원) ㅇTel : 031-280-8179 ㅇE-mail : limmems@sait.samsung.co.kr ▣ 장준근 교수 (서울대학교 전기공학부) ㅇTel : 02-880-1776 ㅇE-mail : jkchang@amed.snu.ac.kr >안녕하십니까..?? > >1. 국내외의 MEMS관련 신 기술 동향을 알고 싶습니다. > >2 MEMS를 이용하여 만들수 있는 상품 Item들을 알고 싶습니다. > >감사힙니다. > >

아시다시피 MEMS와 관련해서 미국내 여러곳에서 활발한 연구가 진행중입니다. Massachusetts Institute of Technology (Cambridge, MA) 역시 MEMS에 관한 interdisciplinary study을 하고 있습니다. 다음 사이트를 방문해보시면 MIT의 MEMS 신기술과 그 응용에 대한 동향을 알 있습니다. http://web.mit.edu/amsl/research/micromachining/mems.htm >안녕하십니까..?? > >1. 국내외의 MEMS관련 신 기술 동향을 알고 싶습니다. > >2 MEMS를 이용하여 만들수 있는 상품 Item들을 알고 싶습니다. > >감사힙니다. > >

MEMS를 이용한 Micro Mirror Display 기술이 미국 Texas Instruments에서 개발되어서 시판중에 있습니다. DLP (Digital Light Processing)이라는 상표권을 가지고 있습니다. 영화관 영사기 (Digital Film), HDTV, Projector등에 쓰이고 있습니다. >안녕하십니까..?? > >1. 국내외의 MEMS관련 신 기술 동향을 알고 싶습니다. > >2 MEMS를 이용하여 만들수 있는 상품 Item들을 알고 싶습니다. > >감사힙니다. > >

>안녕하십니까..?? > >1. 국내외의 MEMS관련 신 기술 동향을 알고 싶습니다. > >2 MEMS를 이용하여 만들수 있는 상품 Item들을 알고 싶습니다. > >감사힙니다. > > 1. MEMS는 국외와 국내 모두 연구가 활발합니다. 대표적인 한국내의 MEMS site는 서울대의 Microsystem Technology Center (www.isrc.snu.ac.kr/~mtec/)입니다. 국내외 한국인 MEMS 연구인력 백서를 만들고 연구 교류의 장을 제공하고 있습니다. 미국의 수 많은 MEMS 연구 사이트 중 단연 대표적인 곳은 MEMS Clearing House (mems.isi.edu)입니다. 미국의 국방성 소속 DARPA의 지원으로 운영되는 MEMS 연구 교류의 장으로 필요한 링크와 공정/설계 등 다양한 토론이 이루어지는 곳입니다. 현재 미국의 MEMS 연구의 흐름을 보실려면 DARPA에서 MEMS연구를 주도하고 있는 Microtechnology Office (http://www.darpa.mil/MTO/MEMS/index.html, http://www.darpa.mil/MTO/bioflips/)의 site를 보시는 것이 가장 좋습니다. 2. MEMS는 공정 기술이기 때문에 응용 분야가 매우 다양합니다. 이미 상용화되어 있는 대표적인 MEMS 제품은 자동차용 가속도 센서와 압력 센서를 포함한 다양한 센서류, 미소 거울을 이용한 display, optical swithing systems (이 분야는 optical fiber와 관련된 핵심 기술로 Bell Lab을 비롯 많은 벤쳐회사들이 연구중), 미소 액츄에이터/공정 기술을 이용한 초고집적 Disk drive, MEMS로 제작된 inductor, tunable capacitor, resonator등을 이용한 무선 송신기에의 응용등을 들 수 있습니다. 이 밖에도 최근에 두드러진 연구/상용화의 방향중 가장 비중이 두어지는 곳이 BioMEMS 분야인데 MEMS 기술을 이용하여 Bio detection system이나 chemical analysis system을 chip상에서 구현하는 기술입니다. DNA sequencing등 연구의 영향으로 일부 이미 상용화가 진행이 되어 있습니다. 현재로서는 기초적인 연구가 진행되고 있지만 앞으로 혁신적인 영향을 미칠 수 있는 가능성이 있는 분야로 power generation (Battery 대체용 기술), Space MEMS (초소형 우주선 실행 기술), 그리고 현재 미국의 전체 연구 방향중 가장 큰 비중을 차지하는 나노 분야에의 접목의 시도로 MEMS/nano hybrid system을 들 수 있습니다. 도움이 되셨길 바랍니다.