지식나눔

slide glass substrate를 사용한 Ellipsometry의 측정

ellipsometry로 두께 및 굴절률을 측정할 때 기판을 꼭 Si를 써야 하는지 궁금합니다.. slide glass위에 입힌 박막은 측정이 어렵거나 부정확하다는 말을 들었습니다.. 그럼 답변 부탁드립니다..
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
  • 답변

    김덕양님의 답변

    슬라이드글래스를 쓰시면 반사되는 빛이 양이 너무 적어서 제대로 박막의 정보를 얻으실 수 없을 것입니다. 차라리 크로스 주사현미경 사진을 찍으시거나 에칭을 하셔서 스텝을 만드신후 Profilometry로 두께를 측정하셔야합니다. 혹 Metricon 에서 나온 Prism Coupler 가 있으시다면 박막의 두께측정도 가능하지만 이것 역시 정확한 값은 구하기 힘듭니다. 김 덕양 드림.
    슬라이드글래스를 쓰시면 반사되는 빛이 양이 너무 적어서 제대로 박막의 정보를 얻으실 수 없을 것입니다. 차라리 크로스 주사현미경 사진을 찍으시거나 에칭을 하셔서 스텝을 만드신후 Profilometry로 두께를 측정하셔야합니다. 혹 Metricon 에서 나온 Prism Coupler 가 있으시다면 박막의 두께측정도 가능하지만 이것 역시 정확한 값은 구하기 힘듭니다. 김 덕양 드림.
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