2001-12-18
org.kosen.entty.User@6e42aa2c
최광혜(choigh)
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약 18미크로의 두께를 가진 전해동박 위에 Si/Cr/Zn/Ni/Cu 순으로 도금이 되어있습니다.
각가 도금의 두께는 100 옴스트롱 정도입니다.
이것들을 모두 에칭할 수 있는 etchant를 찾습니다.
도와주세요...
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김덕양님의 답변
2002-05-20- 0
먼저 Si을 벗겨낸뒤에 Cr, Zn, Ni 식으로 나가야 하는데. 여러 etchant 의 조합을 보시고 선택적인 것들을 골라서 시도해보시기 바랍니다. http://www.uoregon.edu/~hutchlab/semilab/etchants.pdf http://engineering.dartmouth.edu/other/microeng/processing/etching/etchelectr.pdf http://engineering.dartmouth.edu/other/microeng/processing/etching/metal.etch.html > > 약 18미크로의 두께를 가진 전해동박 위에 Si/Cr/Zn/Ni/Cu 순으로 도금이 되어있습니다. > > 각가 도금의 두께는 100 옴스트롱 정도입니다. > > 이것들을 모두 에칭할 수 있는 etchant를 찾습니다. > > 도와주세요... > >