2002-03-28
org.kosen.entty.User@57c8d676
최광혜(choigh)
- 1
구리를 열처리하였을 때 표면에 형성되는
산화막의 두께를 측정하는 방법을 알고 싶습니다.
열처리 온도는 200, 300, 400, 500, 600 도씨입니다.
각 온도別 유지시간은 1hr이구요.
어떤 장비를 사용해서 측정하면 되는지 가르쳐
주시면 감사하겠습니다.
수고하세요.
- oxidation thickness
- measurement method
- copper
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
이성재님의 답변
2002-03-29- 0
보통 금속이나 반도체의 표면에 발생한 산화막의 두께는 Ellipsometry 라는 타원해석 분광기로 측정할수 있습니다. 산화막의 광학상수, 산화안된구리의 광학상수, 그리고 여러각도에서 ellipsometer로 측정한 산화된 구리의광학 데이터를 사용하여 삼상모델 (Three-Phase model)을 적용하여 산화막의 두께를 시간별로 측정할수 있습니다. 보통 상업적 장비에는 두께 측정을 위한 소프트웨어가 설치되어있습니다. A few sites for ellipsometry and its applications: http://www.ellipsometry.co.kr/htm/about_ellipso/char.htm http://www.uronramp.net/~ddesmet/we/possapps.html http://www.clarkson.edu/~isuni/CHAP4.htm http://members.aol.com/inomtek/elipsb.htm > 구리를 열처리하였을 때 표면에 형성되는 > 산화막의 두께를 측정하는 방법을 알고 싶습니다. > 열처리 온도는 200, 300, 400, 500, 600 도씨입니다. > 각 온도別 유지시간은 1hr이구요. > > 어떤 장비를 사용해서 측정하면 되는지 가르쳐 > 주시면 감사하겠습니다. > > 수고하세요. > >