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지식나눔

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target에 소량 도핑된 원소 분석

2002-06-19 org.kosen.entty.User@56d302c5 성진욱(cermetal)
  • 1
안녕하세요 저는 Al doped ZnO 박막을 연구하고 있는 대학원생입니다. 사용한 Al doped ZnO TARGET은 산화물 타겟입니다. 다름이 아니라 박막 증착후 도핑된 al이 detecting 되지 않아서 이렇게 문의를 드립니다. XPS 로 측정을 해보았으나 전혀 DETECTING이 안됩니다. Al의 도핑량은 2 wt%입니다. decting 할수 있는 방법을 알고 계신분은 알려주셨으면 고맙겠습니다.
  • Al doped ZnO
  • Al 원소 분석
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답변 1
  • 답변

    김덕양님의 답변

    2002-07-04
    • 0

    첨부파일

    손쉽게 해보실수 있는 EDX를 추천해 드립니다. Al Kalpha 1.486 Zn Kalpha 8.630 Lalpha 1.012 O Kalpha 0.525 겹치는 곳이 없네요. 문제는 도핑량이 EDX의 detection limit 이상이냐 인데 4 at% Al 이 EDX로 검출된 논문을 여기 첨부해둡니다. 도움이 되셨기를.
    답변수정
    손쉽게 해보실수 있는 EDX를 추천해 드립니다. Al Kalpha 1.486 Zn Kalpha 8.630 Lalpha 1.012 O Kalpha 0.525 겹치는 곳이 없네요. 문제는 도핑량이 EDX의 detection limit 이상이냐 인데 4 at% Al 이 EDX로 검출된 논문을 여기 첨부해둡니다. 도움이 되셨기를.
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