2002-07-29
org.kosen.entty.User@53a01737
정경갑(gkjung)
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실리콘 기판에서 전송속도 향샹 방법에 대한 최근 동향을 알고 싶습니다.
어떤 방법으로 접근을 하여야 하는지 많은 조언을 바랍니다. 전송속도 향
상에 관한 자료를 구하고자 합니다. 가능할지 모르겠네요.
많은 부탁드립니다.
- silicon
- speed
- passive alignment
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
성진욱님의 답변
2002-07-30- 0
다음의 기사내용을참조해보세요 실리콘 온 사파이어 일반적으로 광통신 부품에 사파이어 기판을 활용할 경우 3가지 혜택을 누릴 수 있다. 첫째는 사파이어가 지니고 있는 광학적 속성을 들 수 있다. 사파이어는 거의 완벽한 빛 투과율을 가지기 때문에 손실이 거의 없다. 또한 빔 축 배열에 요구되는 비용을 절감시켜 주는 렌즈 효과(굴절률 1.762에서 1.770)를 제공한다. 둘째로 사파이어는 매우 우수한 전기 절연체라는 점이다.(실내온도에서 1014Ω/m). 이는 기존의 실리콘 기판에서 문제를 유발시켰던 부유 커패시턴스나 전류 누설이 방지됨으로써 반도체 디바이스를 데이터 전송속도에 버금가는 빠른 속도로 운용할 수 있다는 것을 의미한다. 셋째로 사파이어의 열전도성은 42W/mK로서 우수한 열분산 특성을 지원하고 있다. 이러한 장점에도 불구하고 실리콘 온 사파이어 기술이 시장에서 확산되지 못했던 가장 중요한 이유는 제조시 수율이 낮다는 점이다. 이는 사파이어 기판에서 발견되는 실리콘 막의 결정체 결함에 기인한다. 페러그린이 보유하고 있는 UTSi 기술은 이 같은 결정체 결함이 발생하는 재성장 영역(Regrowing region)에서의 결함제거 방식이 포함되어 있다. 물론 아직까지 실리콘 웨이퍼 기술보다는 제조비용이 다소 높지만 전체 공정을 통해 이를 보상받을 수 있다고 페러그린은 설명했다.