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지식나눔

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대면적 ZnO DC sputtering 증착 시 비저항의 불균일에 대하여

2002-11-22 org.kosen.entty.User@60292cd0 성진욱(cermetal)
  • 2
대 면적 ZnO DC sputtering 증착 시 비저항의 불균일성이 발생하는 원인 에 대해서 알고 싶네요 그럼 답변 부탁드립니다.
  • ZnO
  • DC Sputtering
  • resistivity
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답변 2
  • 답변

    성진욱님의 답변

    2002-11-26
    • 0
    대면적 증착시 uniformity가 떨어지는 것을 방지하기 위해 마그네트론 스퍼터링을사용한다는 설명밖에 없네요 원인은 없구요
    답변수정
    대면적 증착시 uniformity가 떨어지는 것을 방지하기 위해 마그네트론 스퍼터링을사용한다는 설명밖에 없네요 원인은 없구요
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    박보순님의 답변

    2002-11-26
    • 0
    Read the above journal article. If you don't understand or need more info. let me know. >대 면적 ZnO DC sputtering 증착 시 비저항의 불균일성이 발생하는 원인 > >에 대해서 알고 싶네요 > >그럼 답변 부탁드립니다.
    답변수정
    Read the above journal article. If you don't understand or need more info. let me know. >대 면적 ZnO DC sputtering 증착 시 비저항의 불균일성이 발생하는 원인 > >에 대해서 알고 싶네요 > >그럼 답변 부탁드립니다.
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