2003-02-24
org.kosen.entty.User@53d80eb8
성진욱(cermetal)
- 3
안녕하세요
이온빔 스퍼터링으로 증착 온도별(70 - 120도)로 제조된 Al doped ZnO의 XRD 피크의 각도가 기존의 참고문헌과 다르게 너무 낮게 나와서 혹시 이와 관련해서 알고 계신 논문이나 경험이 있는 분에게 이렇게 도움을 요청합니다.
참고로 34.42도에서 발생하는 피크가 주 피크이고 변화 범위는 0.5도 이내인데.. 제가 제조한 박막에서는 1도 이상의 변화가 나타났습니다.
이걸 어떻게 해석을 해야할지.. 좀 막막하네요
그럼 부탁드립니다.
- Al doped ZnO
- XRD
- angle shift
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
김수길님의 답변
2003-02-25- 0
Al이 도핑되면 따라 ZnO (002) peak 의 위치 변화는 당연한 것입니다. 혹시 기존의 참고문헌과 작성자께서 가지고 있는 샘플의 도핑 농도는 동일한지 확인해보셨는지요 ? 그리고, Zn와 O의 조성비는 동일한지요 ? 또한, 증착온도도 동일했는지요 ? 증착온도가 높게되면 스트레스로 인하여 peak 위치의 변화가 생길 수도 있습니다. >안녕하세요 > >이온빔 스퍼터링으로 증착 온도별(70 - 120도)로 제조된 Al doped ZnO의 XRD 피크의 각도가 기존의 참고문헌과 다르게 너무 낮게 나와서 혹시 이와 관련해서 알고 계신 논문이나 경험이 있는 분에게 이렇게 도움을 요청합니다. > >참고로 34.42도에서 발생하는 피크가 주 피크이고 변화 범위는 0.5도 이내인데.. 제가 제조한 박막에서는 1도 이상의 변화가 나타났습니다. > >이걸 어떻게 해석을 해야할지.. 좀 막막하네요 > >그럼 부탁드립니다. -
답변
성진욱님의 답변
2003-03-03- 0
>답변 감사드립니다. 일단 제가 사용한 타겟의 Al doping 농도와 기존의 참고 문헌에서 나타난 도핑 농도는 2 wt%로 일치합니다 Zn / O 조성비는 온도가 증가함에 따라 0.87까지 감소하였고 증착온도는 120도 이하입니다. 증착 온도는 기존의 논문 보다 매우 낮은 온도에서 증착하였습니다. 혹시 조성비에 따른 002피크의 변화와 관련된 논문을 갖고 계신지요 -
답변
김철홍님의 답변
2007-01-28- 0
도핑농도나 샘플링 방법에 따라 피크의 위치나 크기가 당근 다르게 나올 수 있습니다. 마치 벌크와 박막에서의 차이만큼요. 제가 예전에 XRD가 아닌 LT-PL로 분석한 자료가 있는데 참조 부탁드립니다. >안녕하세요 > >이온빔 스퍼터링으로 증착 온도별(70 - 120도)로 제조된 Al doped ZnO의 XRD 피크의 각도가 기존의 참고문헌과 다르게 너무 낮게 나와서 혹시 이와 관련해서 알고 계신 논문이나 경험이 있는 분에게 이렇게 도움을 요청합니다. > >참고로 34.42도에서 발생하는 피크가 주 피크이고 변화 범위는 0.5도 이내인데.. 제가 제조한 박막에서는 1도 이상의 변화가 나타났습니다. > >이걸 어떻게 해석을 해야할지.. 좀 막막하네요 > >그럼 부탁드립니다.