지식나눔

Roll to Roll magnetron sputtering사용되는 Al target 순도

투명 산화물 보호막(AlOx)의 양산용 장비로 사용되는 Roll to Roll magnetron sputtering에서 사용되는 Al target의 순도를 알고 싶습니다. 그럼 아는 분의 도움 부탁드립니다.
  • sputtering
  • barrier coating
  • Al target purity
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