2003-03-15
org.kosen.entty.User@42278176
성진욱(cermetal)
- 1
금속 타겟을 사용하여 금속 산화물 제조시
증착된 산화물의 특성에 영향을 미칠 수 있는 요소들이 어떤게 있는지요
제가 사용하고 있는 공정은 이온빔 스퍼터링이구요 산소 가스는 분위기와 이온건에 아르곤과 혼합하여 사용하고 있습니다.
실제 이와 같은 산화물 제조 경험 있는 분의 도움이 필요합니다.
- metal target
- metal oxide
- sputtering
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
고상운님의 답변
2005-07-08- 0
>금속 타겟을 사용하여 금속 산화물 제조시 > >증착된 산화물의 특성에 영향을 미칠 수 있는 요소들이 어떤게 있는지요 > > 제가 사용하고 있는 공정은 이온빔 스퍼터링이구요 산소 가스는 분위기와 이온건에 아르곤과 혼합하여 사용하고 있습니다. > >실제 이와 같은 산화물 제조 경험 있는 분의 도움이 필요합니다. 어떤 금속을 증착시키는지 궁금합니다.(은,구리) 실질적으로 power,rolling속도,아르곤가스 주입량 등이 특성에 영향을 미칩니다.