2003-04-08
org.kosen.entty.User@2a46da09
성진욱(cermetal)
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CVD로 실리콘 기판위에 증착된 Parylene C 박막을 이온빔 보조 반응으로 표면 처리한 결과 달라진 미세구조를 관찰하였는데 어떤 방법으로 이와 같은 변화를 해석해야 하는지 관련 논문을 찾아봐도 없네요 혹시 parulene C 박막의 미세구조에 대한 연구를 하신분의 도움이 있으면 더욱
좋겠습니다.
그럼..
- Parylene C
- microstructure
- surface treatment
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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