2003-04-19
org.kosen.entty.User@6fbbef3b
성진욱(cermetal)
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기존의 공정보다 저온(150 ℃이하)에서 Al doped ZnO 증착시 기존의 공정보다 동일한 전기적 특성이나 광학적 특성 내지 더 우수한 특성을 재현할 수 있을 때 적용이 가능한 응용분야에 대해서 알고 싶네요
그럼 부탁드립니다.
그리고 저온 공정에서 관련 논문도 부탁드립니다
- Al doped ZnO
- low substrate temperature
- sputtering
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
omvpe님의 답변
2005-11-10- 0
> 기존의 공정보다 저온(150 ℃이하)에서 Al doped ZnO 증착시 기존의 공정보다 동일한 전기적 특성이나 광학적 특성 내지 더 우수한 특성을 재현할 수 있을 때 적용이 가능한 응용분야에 대해서 알고 싶네요 >그럼 부탁드립니다. >그리고 저온 공정에서 관련 논문도 부탁드립니다 일반적으로 ZnO의 저온 증착후 기존의 공정보다 더 우수한 특성을 재현할 수 있다면, 좋은 공정으로 채택될 수 있을 겁니다. 낮은 온도의 공정은 여러가지 장점이 있으니까요. 몇가지 논문을 참조하였습니다. 참고하시길.