2003-06-03
org.kosen.entty.User@57bf9886
안우현(peterahn)
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전극을 통하는 진공중의 텅스텐 필라멘트의 온도가 2500도 정도에서 NF3 가스를 흘릴때 이 텅스텐 선을 잡을 수 있는 체결부로 적당한 재료를 찾습니다
NF3는 고온에서 분해되어 F계의 성분들에 의해 부식되지 않고 온도 또한 1000~1500도에서도 견딜 수 있는 재료이면 좋겠습니다
- Corrosion Resistance
- Heat Resistance
- NF3 Gas & F radical
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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