2003-06-10
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김대식(redrock71)
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반도체 공정 중에 발생하는 세정액의 회수 및 처리 방법에 관한 자료를 찾고 있습니다. 또한 국내 반도체 회사(삼성, 하이닉스, LG등)에서는 어떻게 처리를 하는지요?
가능한 membrane을 이용하여 회수하는 곳을 찾고 싶은데 도와주세요..
- semiconductor
- membrane
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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백기태님의 답변
2004-09-30- 0
제가 알기로는.. 현재 membrane을 이용하는 곳은 거의 없는 것으로 알고 있습니다. 불산을 많이 사용하기 때문에 불산을 회수하는 곳은 있습니다. 하이닉스의 경우에는 불산 회수 공정 개발을 진행하여 지금 완료한 것으로 알고 있습니다. -
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장용운님의 답변
2008-04-11- 0
>반도체 공정 중에 발생하는 세정액의 회수 및 처리 방법에 관한 자료를 찾고 있습니다. 또한 국내 반도체 회사(삼성, 하이닉스, LG등)에서는 어떻게 처리를 하는지요? >가능한 membrane을 이용하여 회수하는 곳을 찾고 싶은데 도와주세요.. 반도체공정에서 발생하는 폐수는 1.웨이프 폴리싱공정에서 발생하는 불산(재활용) 2.유기용제(IPA, TCE, 111-TCE, 141b 등)는 폐기물재 활용업체에서 수거하여 재생하여 B급업체에 판매 3.계면활성제류는 자체처리 4.스럿치부분 폐기물업체 수거 재활용으로 많은 부분이 재활용되고 있습니다^^*