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지식나눔

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polyimide wet etching

2003-07-03 org.kosen.entty.User@4f0e5bd3 김기현(arche)
  • 1
절연층으로서 폴리이미드를 스핀코팅 후 curing이 끝난 후에 wet etching을 하고 싶습니다. 혹 etchant를 알고 계신 분은 알려주셨으면 합니다. 감사합니다.
  • polyimide
  • wet etching
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답변 1
  • 답변

    김덕양님의 답변

    2003-07-16
    • 0

    첨부파일

    TEAH (tetraethylammonium hydroxide) 로 wet etching 한 결과가 나와있습니다. 도움이 되셨기를. >절연층으로서 폴리이미드를 스핀코팅 후 curing이 끝난 후에 wet etching을 하고 싶습니다. >혹 etchant를 알고 계신 분은 알려주셨으면 합니다. >감사합니다.
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    TEAH (tetraethylammonium hydroxide) 로 wet etching 한 결과가 나와있습니다. 도움이 되셨기를. >절연층으로서 폴리이미드를 스핀코팅 후 curing이 끝난 후에 wet etching을 하고 싶습니다. >혹 etchant를 알고 계신 분은 알려주셨으면 합니다. >감사합니다.
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