2003-12-08
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송수욱(uook001)
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TMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide) 폐액에서 TMAH 농도 측정하는 방법 아시면 답변 달아주세요
- TMAH
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답변 2
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답변
민병훈님의 답변
2003-12-24- 0
>TMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide) 폐액에서 TMAH 농도 측정하는 방법 아시면 답변 달아주세요 > 폐액이 어떤 종류인지 잘몰라서 적절한 답이 될지 모르겠습니다. TMAH는 염기이기 때문에 일반적으로는 산으로 적정하는 것이 가장 정확하다고 알려져 있습니다. 반도체에서 사용하는 현상액으로서의 TMAH용액도 농도는 적정으로 측정하는 것으로 알고 있습니다. 기타 전도도를 이용하여 측정하는 경우도 있습니다. 물론 이경우는 검량선이 있어야 할 것입니다. 아마 다른 방해물질이 없다면 산(염산을 추천합니다.)으로 적정하시는 것이 어떨까 싶습니다. -
답변
민병훈님의 답변
2003-12-24- 0
>TMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide) 폐액에서 TMAH 농도 측정하는 방법 아시면 답변 달아주세요 > 폐액이 어떤 종류인지 잘몰라서 적절한 답이 될지 모르겠습니다. TMAH는 염기이기 때문에 일반적으로는 산으로 적정하는 것이 가장 정확하다고 알려져 있습니다. 반도체에서 사용하는 현상액으로서의 TMAH용액도 농도는 적정으로 측정하는 것으로 알고 있습니다. 기타 전도도를 이용하여 측정하는 경우도 있습니다. 물론 이경우는 검량선이 있어야 할 것입니다. 아마 다른 방해물질이 없다면 산(염산을 추천합니다.)으로 적정하시는 것이 어떨까 싶습니다.