2004-03-19
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김진의(kim7603)
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mems공정을 하고있는 학생인데요...후막형은 시중에서 파는 에천트로 아무문제 없이 에칭이 가능한데 저는 박막상태의 팔라듐을 에칭할려고 합니다..두께는 700옹스트롱이고요...논문으로 temperature, etch rate 등등 reference로 활용해서 실험할수 있는 논문을 급히 문의합니다...
- pd(thin film)
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답변 1
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답변
황학인님의 답변
2004-04-18- 0
>mems공정을 하고있는 학생인데요...후막형은 시중에서 파는 에천트로 아무문제 없이 에칭이 가능한데 저는 박막상태의 팔라듐을 에칭할려고 합니다..두께는 700옹스트롱이고요...논문으로 temperature, etch rate 등등 reference로 활용해서 실험할수 있는 논문을 급히 문의합니다... 금에칭액으로 쓰는 KI+I2+H2O = 4:1:4 (무게비율) 시각액을 만들어 쓰십시요.40도씨 정도 온도에서 에칭이 됩니다. etch rate는 수초내로 됩니다.