2004-05-07
org.kosen.entty.User@1405515f
함관식(leo73)
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PET film상에 Activated reactive evaporation으로 AlOx를 약 10nm가량
증착한 제품을 개발중에 있습니다.
그런데 워낙에 증착층이 얇고 투명하여서,
증착이 된 부분과 증착이 되지 않은 substrate간의 구분이 되지 않습니다.
현장에서 간단히 증착여부만 판단할수 있는 방안이 있을까요...간단히
표면에너지차나 광학적인 방법들 중에 혹시 있을까요???
부탁드리겠습니다.
- thin film
- evaporation
- PET
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 5
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답변
안치원님의 답변
2004-05-18- 0
10nm 의 AlOx 막이 증착 되었는지 구분하는 방법은? TEM, AFM, X-ray (2theta = 1-5 degree)등을 이용하면 간단히 구분할 수 있겠지만, 현장에 그러한 장비가 없다면.. 언급하신대로, 표면에너지를 이용하는 방법이 가장 간단할 것 같습니다. 물방울의 wetting 정도로 구분하실 수 있겠지만, 증착된 부분이 너무 작을 경우에는 곤란하겠지요. 용액에 수직으로 담그었다 천천히 꺼낼때 용액이 표면에 얼마나 딸려오는냐로 구분 할 수도 있을 것 같습니다. 용액의 pH 값을 변화 시켜 주면 그 차이가 큰 경우를 발견 하실 수 있을 것입니다. 증착 표면 위에 다른 물질을 다시 코팅(용액법이나 evaporation 법 등)하는 경우에도 구분방법을 찾을 수 있을 것 같습니다. AlOx 막이 형성된 부분만 선택적으로 코팅이 되는 물질을 찾아야 할텐데, 산화물의 경우(SiOx, TiOx, FexOy 등) 보다 선택적으로 코팅 될 가능성이 크겠지요.AlOx 막 표면의 -OH 기 와의 가수분해 반응을 이용. 구체적인 해결책이 못될지도 모르겠지만... 간단히 시도해 보실 수 있을 것입니다. >PET film상에 Activated reactive evaporation으로 AlOx를 약 10nm가량 > >증착한 제품을 개발중에 있습니다. > >그런데 워낙에 증착층이 얇고 투명하여서, > >증착이 된 부분과 증착이 되지 않은 substrate간의 구분이 되지 않습니다. > >현장에서 간단히 증착여부만 판단할수 있는 방안이 있을까요...간단히 > > >표면에너지차나 광학적인 방법들 중에 혹시 있을까요??? > >부탁드리겠습니다. -
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서수형님의 답변
2004-05-18- 0
제가 아는 지식내에서 의견을 드립니다. 매우 얇은 박막의 경우에는 두가지 정도 제안할 수 있습니다. 우선 엘립소미터라는 광학적 분석법이 있는데, 물질의 굴절율과 유전율 차에 의해 구분을 하기 때문에 가능할 것으로 판단되며(시뮬레이션과 병행), 이 분야에서 다양한 측정 경험과 기본 데이터를 보유하고 있는 한양대 안산캠퍼스 물리학과의 안일신 교수님이 계시니 문의해 보시는 것이 좋을 것 같으며, 현장 분석법으로 적합할 것 같습니다. 두번째로는 엑스선 반사법이 있는데, 엘립소 미터법과 같이 시뮬레이션을 병행하여 수행하며, 각 물질의 전자밀도 차로 판단이 가능하나, 현장에 사용하기에는 장비가 고가인 편입니다. 답변이 충분히 되셨길 바라며... -
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송인섭님의 답변
2004-05-20- 0
혹시 이 제안이 맞을지 모르겠는데요, 그 전의 경험으로 볼 때, PET Bottle용 Preform의 성형상태를 검사할 때, 이 역시 투명품이므로 육안으로는 사출성형 시의 Melt 수지가 Cavity에 흘러들어간 상태를 판별할 방법이 없었으나, 그 당시 사용했던 기구가 편광판입니다. 편광판을 통하여 투명 수지를 보면 수지의 눈에 보이지 않는 상태가 그 수지를 통과한 빛이 편광판을 통과하며 상태의 차이를 보여 주므로 가능하지 않을까 생각합니다. 이상. -
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정헌준님의 답변
2004-05-20- 0
몇 가지 생각나는 방법을 알려드립니다. 1. 눈으로 색깔을 구분할 수 있으면 제일 간편하겠죠. PET위에서는 색차이가 별로 없다면 유리등 다른 reference기판을 같이 사용해 볼 수 있을 것입니다. 그래도, 잘 안보일 수도 있어요. 2. 물에 잠시 담궈보는 방법도 있습니다. Oxide가 증착된 표면은 물이 골고루 묻어 ？ 퍼지지만, 플라스틱은 hydrophobic하여 방울 방울 뭉칠 것 같기도 합니다. 3. Ellipsometer가 있다면 굴절율과 두께를 측정해보면 알겠지요. 4. Alphastep같은 surface profiler장비가 있다면 표면 단차를 측정할 수 있습니다. 5. 또, 무슨 방법이 있겠지요... -
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함관식님의 답변
2004-06-11- 0
여러분들이 도와주신데 감사드립니다. 일단 편광필름은 굉장히 효과적이였습니다. 편광필름 두장 사이에 제품(AlOx/PET)를 끼워서 관찰한 경우 AlOx 15nm정도에서 푸른색을, 12um PET의 경우 무색이 나타났습니다. 레퍼런스를 많이 만드는 것이 중요할듯합니다. 그외에도 여러가지 재미있는 현상이 많이 나타났는데... 정리가 되는데로 올리도록 하겠습니다. 다시한번 감사드립니다.