2004-06-03
org.kosen.entty.User@775b3b18
조대용(talchull)
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꼭 좀 부탁드립니다..
습식 식각,,,즉 wet etching,,,에 관한 자료나,,추천할만한 책을 좀 부탁드립니다...
특히,,Cr이나 ,,,ITO 를 습식으로 에칭하는 방식에서의 메카니즘을 좀 자세히 알고 싶습니다....왕수와,,,Cr,,,ITO와의 반응..?
꼭 부탁드립니다.
- wet etching
- etching mechanism
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
이영우님의 답변
2004-06-04- 0
>꼭 좀 부탁드립니다.. >습식 식각,,,즉 wet etching,,,에 관한 자료나,,추천할만한 책을 좀 부탁드립니다... >특히,,Cr이나 ,,,ITO 를 습식으로 에칭하는 방식에서의 메카니즘을 좀 자세히 알고 싶습니다....왕수와,,,Cr,,,ITO와의 반응..? > >꼭 부탁드립니다. Cr을 포함한 금속의 에칭에 관한 습식 에칭 조건은 Metallographic Etching (Gunter Petzoco 저)이라는 책에 나와있습니다. 물론 금속에 대한 핸드북들에도 어느정도 나와있습니다. 산화물계열은 습식에칭의 경험이 작아서 잘 모르겠습니다만 대부분 불산수용액에 몇가지 시약을 섞어서 하는데 적정 조건을 찾기가 까다롭죠. 에칭두께나 패턴이 크다면 괜찮지만 만일 마이크론 수준의 미세패턴 또는 0.1 마이크론 이하의 두께를 에칭하는 경우라면 건식에칭을 권해드리고 싶습니다. 습식에칭의 경우 에칭액의 농도, 온도, 기타등등 여러가지 인자들 때문에 제어가 어렵고 에칭표면이 오염되기 쉽습니다.게다가 미세패턴으로 갈수록 정확한 에칭이 어렵게 됩니다. 요즘은 과거와 달리 건식에칭장비도 많이 보급되고 있고 제작단가도 상대적으로 싸져서 굳이 습식에칭을 고집할 이유는 없는것 같군요. -
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김주선님의 답변
2004-06-06- 0
>꼭 좀 부탁드립니다.. >습식 식각,,,즉 wet etching,,,에 관한 자료나,,추천할만한 책을 좀 부탁드립니다... >특히,,Cr이나 ,,,ITO 를 습식으로 에칭하는 방식에서의 메카니즘을 좀 자세히 알고 싶습니다....왕수와,,,Cr,,,ITO와의 반응..? > >꼭 부탁드립니다. 세라믹이나 금속표면을 관찰하기 위한 전통적인 에칭방법은 습식에칭방법이나 thermal etching 방법이 있습니다. 그러나 이러한 경우에는 다결정 재료를 가정하고 입계를 에칭하는 기법입니다 만약 패턴을 형성하기 위한 에칭방법을 찾기 원하신 다면 MEMS 전문가에게 의뢰하시는게 적당하리라 생각합니다. 단순한 미세조직 관찰을 위한 것이라면 아래 책을 참고하시기 바랍니다.. 매우 얇아서 보시기에 부담이 없을 듯 합니다 제목 Metallographic etching : metallographic and ceramographic methods for revealing microstructure / G?nter Petzow ; translators from the German version, Rosemarie Koch and James A. Nelson. 출판사항 Metals Park, Ohio : American Society for Metals, c1978. 저자 Petzow, G.