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지식나눔

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PDMS to PDMS bonding

2004-06-25 org.kosen.entty.User@4146e007 정옥찬(memsoku)
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두개의 PDMS 막 본딩에 대해서 노하우를 곁들여서 설명좀 부탁드립니다. RIE로 O2를 5초부터 40초 사이로 달리하고, 에탄올 혹은 메탄올로 두 PDMS막을 정렬했는데, 도대체가 붙질 않으니까 원인이 뭘까여?
  • PDMS
  • Bonding
  • MEMS
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