2004-06-30
org.kosen.entty.User@53c62834
이역규(themis1)
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두께는 10,20,30마이크로 정도이고
sputtering으로 thin film을 증착할 때, substrate로 사용할려고 하는데...
cleaning 방법을 찾을 수가 없습니다..
방법이나...좋은 자료를 추천해 주십시오.
- Nickel foil
- cleaning
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
박종원님의 답변
2004-07-03- 0
sputtering cleaning 시 휘발서 약품을 사용하여 하기도 하지만 정밀 세척을 위하여는 정밀 세정 장비를 이용하여 공정마다 세정을 하는 것이 좋습니다. 조그만 오염에도 thin film은 영향을 받기 때문입니다. 이것과 관련하여 전문적인 업체가 있고 관련 사이트에 정밀세정과 정밀세정 제품과 정밀 세정 공정까지 소개한 업체를 알려드립니다. 공정별 재질별로도 구분하여 사용하여야 하는 미세공정입니다. 실제로 실험실적으로는 진공 및 흡착을 간단히 하여 사용하지만 규모가 크고 미세 세정까지 요구하는 경우에는 사용기판에 따라 달라집니다. 한번 보시고 검토바랍니다. http://www.komico.com/ 의 절밀 세정 메뉴를 이용하시기 바랍니다. >두께는 10,20,30마이크로 정도이고 >sputtering으로 thin film을 증착할 때, substrate로 사용할려고 하는데... >cleaning 방법을 찾을 수가 없습니다.. >방법이나...좋은 자료를 추천해 주십시오.