2004-08-16
org.kosen.entty.User@36452bac
이호철(clubcc)
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40인치 이상 대형기판에 100nm수준정도로 uniform하게 wet 코팅을
하고 싶습니다.
작은기판에서는 스핀코팅으로 문제없이 했는데..커지니까
방법이 없네요~~
코팅하는 방법이나 업체 알고 계시면 정보주세요...
감사합니다.
- coating
- nanometer
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
김현중님의 답변
2004-08-17- 0
>40인치 이상 대형기판에 100nm수준정도로 uniform하게 코팅을 > >하고 싶습니다. > >작은기판에서는 스핀코팅으로 문제없이 했는데..커지니까 > >방법이 없네요~~ > >코팅하는 방법이나 업체 알고 계시면 정보주세요... > >감사합니다. 무슨코팅인지는 모르지만 스퍼터링으로 가능하지 않을까요? 스퍼터링업체는 검색엔진에서 많이 찾을수있답니다. www.unitex.com -
답변
김진철님의 답변
2004-10-27- 0
LCD기판 같이 대형화하면서 작은 웨이퍼에 하던 스피닝코터로의 제조가 곤란하여 대형은 CVD법 즉 액상의 코팅 물질을 증착형태로 저진공 상태에서 작업하는 방법을 적용하는것으로 알고 있습니다. >40인치 이상 대형기판에 100nm수준정도로 uniform하게 wet 코팅을 > >하고 싶습니다. > >작은기판에서는 스핀코팅으로 문제없이 했는데..커지니까 > >방법이 없네요~~ > >코팅하는 방법이나 업체 알고 계시면 정보주세요... > >감사합니다.