2004-09-02
org.kosen.entty.User@34fa2c14
성진욱(cermetal)
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DLC 전반에 관련된 문의 드립니다.
1) DLC 코팅시 일반적으로 사용되는 기판에는 어떤것이 있는지요?
2) 기판온도는 몇도까지 올리는지요?
위의 질문의 경우 사용되는 증착 방법은 스퍼터링이면 좋겠네요
- substrate temperature
- substrate
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
박종원님의 답변
2004-09-06- 0
중국의 DLC와 관련하여 자료 조사하다가 정리한 자료인데 단순한 중국의 DLC의 응용을 정리한 것입니다. >DLC 전반에 관련된 문의 드립니다. > >1) DLC 코팅시 일반적으로 사용되는 기판에는 어떤것이 있는지요? > >2) 기판온도는 몇도까지 올리는지요? > >위의 질문의 경우 사용되는 증착 방법은 스퍼터링이면 좋겠네요 -
답변
박은성님의 답변
2004-09-11- 0
DLC 코팅의 목적에 따라 주로 사용되는 기판이 여러종류가 있습니다. 몇가지 열거해보면 다음과 같습니다. (1) cutting tool (tool steel) - 내마모, 기계적 성질향상 (2) 마그네틱 디스크 - 내마모성 (3) 정형외과용 생체재료 (스텐리스강, Ti, Co-Cr 합금) - 내마모 (4) IR 센서 윈도우 - 광학성질, 기계적 성질 (5) 바이오센서 (Si, polymers) - chemical resistance (6) 폴리머 - diffusion barrier 기판온도는 코팅 방식과 기판종류에 따라 많이 차이가 납니다. sputtering >>300C PLD (pulsed laser deposition) ~2-300C PE-CVD (plasma enhanced CVD) <200C IBD (ion beam deposition) <100C 도움이 되길 바랍니다. > >DLC 전반에 관련된 문의 드립니다. > >1) DLC 코팅시 일반적으로 사용되는 기판에는 어떤것이 있는지요? > >2) 기판온도는 몇도까지 올리는지요? > >위의 질문의 경우 사용되는 증착 방법은 스퍼터링이면 좋겠네요 -
답변
박정우님의 답변
2004-09-13- 0
> >DLC 전반에 관련된 문의 드립니다. > >1) DLC 코팅시 일반적으로 사용되는 기판에는 어떤것이 있는지요? DLC 박막이 비정질이므로 기판의 제한을 거의 받지 않는 것으로 알려져 있습니다. Ceramic, Si single crystal, ... 다양한 기판을 사용하고 있습니다. > >2) 기판온도는 몇도까지 올리는지요? 통상적으로 기판 온도가 올라가게 되면, 흑연화되는 DLC 박막의 특성상, 저온에서 행하는 것이 일반적입니다. 해서, 상온에서 하는 경우가 많고, 올라가더라도 150~200'C 이상으로 올리는 경우는 적습니다. > >위의 질문의 경우 사용되는 증착 방법은 스퍼터링이면 좋겠네요 일반적으로 CVD 방법을 사용하는데, sputtering 방법에 의한 DLC 박막의 경우 막 특성이 나빠서 잘 이용하지 않고 있습니다. 위에 적은 공정조건도 일반적인 thermal CVD나 PE-CVD 방법의 경우에 대한 조건들입니다. Sputtering 방법으로 진행하셔야 하는 이유가 있는지요?