2004-11-13
org.kosen.entty.User@63855822
김기현(arche)
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알루미나를 스터퍼를 이용하여 증착하고자 합니다.
제가 알기로는 증착된 두께에 따라 각기 다른 색상을 띠는 것으로 알고있는데 두께에 따른 색상을 알려주셨으면 합니다
감사합니다.
- alumina
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
이성재님의 답변
2004-11-16- 0
>알루미나를 스터퍼를 이용하여 증착하고자 합니다. >제가 알기로는 증착된 두께에 따라 각기 다른 색상을 띠는 것으로 알고있는데 두께에 따른 색상을 알려주셨으면 합니다 >감사합니다. 알루미나 (Al2O3) 두께에 따른 따른 색상변화치는 이 시료에 대해 실험을 하지 않아, 데이터는 없으나, 아래 링크된 모델을 사용하여 시률레이션값은 구할 수 있읍니다. 기판과 알루미나 광학상수 정보를 입력하시고, 알루미나 두께를 변화시키면 반사율을 얻어집니다. 그로부터 두께에 따른 색상정보를 얻을 수 있으리라 생각됩니다. http://www.ellipsometry.co.kr/htm/software/software_frame.htm