2005-05-07
org.kosen.entty.User@27bd9001
정옥찬(memsoku)
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PDMS의 RIE를 이용한 dry etch에 대하여 문의하고자 합니다.
대충 막연하게 CF4하고 O2를 쓰면 될 것도 같은데,
혹시 경험이 있으신 고수분이 계시거나,
유용한 자료가 있으시다면 좀 첨부해주셨으면 합니다.
1. etch mask
2. gas condition
3. etch rate
4. etc...
혹은 유용한 wet etch 공정이 있으시면 좀 알려주시기 바랍니다.
감사합니다.
- PDMS
- Dry etch
- gas
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