2005-07-13
org.kosen.entty.User@59f0f27
김효주(2pacjune)
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Laser CVD Repair 기술관련하여 자료 부탁드립니다.
반도체나 디스플레이에서 패턴등을 laser를 이용하여 repair하는 기술과
공정과정, 그리고 공정과정중에 일어나는 화학적 반응등에 관한 자료나
지식이 있으신 분은 도움 주시면 감사하겠습니다.
- Laser
- CVD
- Repair
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
고남훈님의 답변
2005-07-13- 0
Laser CVD Repair 라고 치시면 관련 논문도 나오고 리페어에 대한 국내 논문도 나올겁니다. Laser CVD Repair는 NEC에서 주로 하고 있으니까 관련 특허두 많은 도움을 받으실 수 있을겁니다 재미있는 걸 하시는군여... >Laser CVD Repair 기술관련하여 자료 부탁드립니다. >반도체나 디스플레이에서 패턴등을 laser를 이용하여 repair하는 기술과 >공정과정, 그리고 공정과정중에 일어나는 화학적 반응등에 관한 자료나 >지식이 있으신 분은 도움 주시면 감사하겠습니다. >