2005-09-07
org.kosen.entty.User@40c93142
최규석(seed77)
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이렇게 나와있는것이 있는데 클릭하면 KISTI_586_BioMEMS.pdf 자료가 나오지 않더라고요..이 파일도 있으면 좋고요..
MEMS에 대한 자료 부탁드립니다..
제가 바이오 MEMS만 하는게 아니라 반도체 공정(공학), 즉 MEMS에 대한 실험적인것이 나와있는 자료를 부탁드리는 것입니다... 그림으로 설명 잘되어있는것 부탁드립니다..
- MEMS
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
안치원님의 답변
2005-09-07- 0
MEMS 라고 하면 너무 광범위하여, 많은 자료들이 있습니다. 최근 관련서적들도 많이 있고요. 우선 사이트 한곳을 알려드립니다. http://www.memsnet.org/mems/what-is.html 어떤 응용분야인가에 따라서 실험과 관련된 수많은 논문들이 있을 것입니다. >이렇게 나와있는것이 있는데 클릭하면 KISTI_586_BioMEMS.pdf 자료가 나오지 않더라고요..이 파일도 있으면 좋고요.. >MEMS에 대한 자료 부탁드립니다.. >제가 바이오 MEMS만 하는게 아니라 반도체 공정(공학), 즉 MEMS에 대한 실험적인것이 나와있는 자료를 부탁드리는 것입니다... 그림으로 설명 잘되어있는것 부탁드립니다.. -
답변
서영호님의 답변
2005-09-08- 0
첨부파일
- 1). 0908090030Hand out 01-Silicon as a mechanical material.pdf (0 KB)
- 2). 0908090030Hand out 02-Feynman-There is plenty of room at the bottom.pdf (0 KB)
- 3). 0908090030Hand out 03-Bulk Micromachining Of Silicon - Proceedings of the IEEE.pdf (0 KB)
- 4). 0908090030Hand out 02-Feynman-There is plenty of room at the bottom.pdf (0 KB)
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1). 0908090030Hand out 01-Silicon as a mechanical material.pdf
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2). 0908090030Hand out 02-Feynman-There is plenty of room at the bottom.pdf
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3). 0908090030Hand out 03-Bulk Micromachining Of Silicon - Proceedings of the IEEE.pdf
(0 KB)
- 4). 0908090030Hand out 02-Feynman-There is plenty of room at the bottom.pdf (0 KB)
실리콘을 기반으로 MEMS 및 나노를 연구하는 사람이면 누구나 읽었을 article입니다. 첫번째것은 R.Feynman이 caltech에서 강연했던 너무나 유명한 내용이구요, 아마 들어 보셨을 것입니다. “There's plenty of room at the bottom“. 두번째는 실리콘으로 기계적 구조물을 제작하는 사람이면 거의 모든 사람이 참고문헌 1번으로 택하는 유명한 논문입니다. “Silicon as a Mechanical Material“ 나머지 두편은 가장 대표적인 공정(Bulk and Surface Micromachining)을 요약해 놓은 논문 입니다. 참고가 되었으면 좋겠습니다. >이렇게 나와있는것이 있는데 클릭하면 KISTI_586_BioMEMS.pdf 자료가 나오지 않더라고요..이 파일도 있으면 좋고요.. >MEMS에 대한 자료 부탁드립니다.. >제가 바이오 MEMS만 하는게 아니라 반도체 공정(공학), 즉 MEMS에 대한 실험적인것이 나와있는 자료를 부탁드리는 것입니다... 그림으로 설명 잘되어있는것 부탁드립니다.. -
답변
신정규님의 답변
2005-09-09- 0
>이렇게 나와있는것이 있는데 클릭하면 KISTI_586_BioMEMS.pdf 자료가 나오지 않더라고요..이 파일도 있으면 좋고요.. >MEMS에 대한 자료 부탁드립니다.. >제가 바이오 MEMS만 하는게 아니라 반도체 공정(공학), 즉 MEMS에 대한 실험적인것이 나와있는 자료를 부탁드리는 것입니다... 그림으로 설명 잘되어있는것 부탁드립니다.. 첨부해 드린 파일의 내용 제1장 개 요 1. 연구의 목적과 필요성 2. 연구 방법 제2장 기술동향 분석 1. 기술의 개요 가. Bio-MEMS 개요 나. Bio-MEMS의 특징 2. 연구개발 동향 가. Biomedical Engineering 나. Bio Chip 다. Microfluidics 기반의 Lab-on-a-chip 제3장 시장동향 분석 1. 산업 특성 가. 산업의 개요 나. 산업의 특징 2. 산업 동향 가. 미 국 나. 유 럽 다. 한 국 3. 업체 동향 제4장 이슈 분석 1. 기회·위협요인 2. 수요 전망 3. 연구 및 사업화 전략 참고문헌 참고문헌 1. 국가과학기술위원회, 국가기술지도, 2002. 11. 2. 김희찬, 신기술을 활용한 의료기기 개발, 서울의대 의공학교실,2 0 0 1 . 3. 장준근, “B i o - M E M S의 의료공학에의 응용,”보건산업기술동향,2001. 가을. 4. 전자부품연구원, 마이크로센서 산학연 기술교류회 자료집,2001. 5. 5. 정보통신기술개발계획위원회, 중장기계획 분과위원회 보고서 (원천기초 분과), 2001. 11. 6. 정보통신연구진흥원, IT-BT 융합 기술개발기획 연구, 2002. 4. 7. 한국과학기술정보연구원, 바이오칩, 핵심정보분석, 2002. 12. 8. Cahners In-Stat Report, A MEMS Industry Overview and Forecast, 2001. 9. In-Stat/MDR, BioMEMS:Revolutionizing Medicine and Healthcare, 2002. 2. 첨부해 드린 것 이외에 KOSEN분석 자료에서 MEMS로 검색을 하시면 약 10여개의 자료가 나옵니다. 그것도 참조하시기 바랍니다.