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지식나눔

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gold위에 micro channel (PDMS)을 만들고 싶은데 좋은 아이디어를 부탁드립니다.

2005-09-12 org.kosen.entty.User@575799ed 김일태(itkimbrian)
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gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다.
  • gold
  • microchannel
  • pdms
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답변 4
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    이재선님의 답변

    2005-09-13
    • 0
    >gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다. PDMS 기판에 먼저 micro channel을 형성하고, 셰도 마스크를 사용해서 원하는 부분에 gold를 스퍼터링 방법으로 형성하시면 되지 않을가 생각합니다.
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    >gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다. PDMS 기판에 먼저 micro channel을 형성하고, 셰도 마스크를 사용해서 원하는 부분에 gold를 스퍼터링 방법으로 형성하시면 되지 않을가 생각합니다.
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    서영호님의 답변

    2005-09-13
    • 0
    일반적으로 PDMS는 표면을 O2 Plasma(또는 Corona discharge)를 처리를 하고 나면 유리(SiO2)와 아주 잘 붙습니다. 그래서 gold line이 일부 있다하더라도 유리면이 많으면 물이나 기타 버퍼를 흘러도 leak가 거의 없을 정도로 잘 붙습니다. Micro channel 아래쪽이 모두 gold layer가 되지 않아도 된다면 gold를 micro channel 형상보다 조금 작게 패터닝하고, 만약 electric wire 등으로 gold를 사용한다면 line 형상으로 채널 밖으로 빼내면, SiO2가 많이 드러나기 때문에 접합이 용이할 것입니다. MEMS를 기반으로 Fluidic chip을 제작할 때, gold layer를 SAM이나 화학적 처리를 위해 사용할 경우에는, adhesive를 사용하여 채널을 형성하는 것은 gold에 화학적 contamination을 주기 때문에, 그리고 물(버퍼)의 leak가 없게 접합 할수 없기 때문에 잘 사용하지 않습니다. >gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다.
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    일반적으로 PDMS는 표면을 O2 Plasma(또는 Corona discharge)를 처리를 하고 나면 유리(SiO2)와 아주 잘 붙습니다. 그래서 gold line이 일부 있다하더라도 유리면이 많으면 물이나 기타 버퍼를 흘러도 leak가 거의 없을 정도로 잘 붙습니다. Micro channel 아래쪽이 모두 gold layer가 되지 않아도 된다면 gold를 micro channel 형상보다 조금 작게 패터닝하고, 만약 electric wire 등으로 gold를 사용한다면 line 형상으로 채널 밖으로 빼내면, SiO2가 많이 드러나기 때문에 접합이 용이할 것입니다. MEMS를 기반으로 Fluidic chip을 제작할 때, gold layer를 SAM이나 화학적 처리를 위해 사용할 경우에는, adhesive를 사용하여 채널을 형성하는 것은 gold에 화학적 contamination을 주기 때문에, 그리고 물(버퍼)의 leak가 없게 접합 할수 없기 때문에 잘 사용하지 않습니다. >gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다.
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    이준호님의 답변

    2005-09-14
    • 0
    >gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다. PDMS와 같은 실리콘재의 경우 금속과의 접착성이 매우 안좋습니다. 모든 프로세스에 적용하기는 힘들지만, 경우에 따라 실란계통 (NH2-Si-(OCH3)3) 등을 첨가해주면 실란계통의 물질이 기반 표면의 (OH) 기와 수소결합을 형성하기 때문에 접착력을 향상시킬 수도 있습니다. 이 경우 첨가량은 대략 1-2wt%정도라고 생각됩니다.
    답변수정
    >gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다. PDMS와 같은 실리콘재의 경우 금속과의 접착성이 매우 안좋습니다. 모든 프로세스에 적용하기는 힘들지만, 경우에 따라 실란계통 (NH2-Si-(OCH3)3) 등을 첨가해주면 실란계통의 물질이 기반 표면의 (OH) 기와 수소결합을 형성하기 때문에 접착력을 향상시킬 수도 있습니다. 이 경우 첨가량은 대략 1-2wt%정도라고 생각됩니다.
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  • 답변

    강지윤님의 답변

    2005-09-14
    • 0

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    >gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다. Gold coated surface위에 micro channel을 PDMS 로 만드는 경우는 대부분 SPR을 측정할 때 생기는 문제입니다. Gold surface위에 PDMS를 bonding하는 것은 힘드므로 대부분 clamping 방법을 이용합니다. Clamping은 기계적으로 물려서 채널이 새지 않게끔 한다는 것입니다. 물론 이러한 방법을 사용할 때는 채널이 얕은 경우 눌려서 채널이 막히게 되므로 채널을 깊게 형성해야 합니다. Ref) 1. REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 76, 054303 (2005), Modular multichannel surface plasmon spectrometer, G. Neuert,a! S. Kufer, M. Benoit, and H. E. Gaub 2. Sensors and Actuators B 98 (2004) 208–214, Poly(dimethylsiloxane) microfluidic flow cells for surface plasmon resonance spectroscopy, Aaron R. Wheeler, Soonwoo Chah, Rebecca J. Whelan, Richard N. Zare∗
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    >gold coated substrate위에 micro chaneel을 만들고 싶은데, PDMS의 경우에는 gold에 bonding이 잘 안되는군요. 다른 좋은 방안이 있으시면 자문을 바라겠습니다. Gold coated surface위에 micro channel을 PDMS 로 만드는 경우는 대부분 SPR을 측정할 때 생기는 문제입니다. Gold surface위에 PDMS를 bonding하는 것은 힘드므로 대부분 clamping 방법을 이용합니다. Clamping은 기계적으로 물려서 채널이 새지 않게끔 한다는 것입니다. 물론 이러한 방법을 사용할 때는 채널이 얕은 경우 눌려서 채널이 막히게 되므로 채널을 깊게 형성해야 합니다. Ref) 1. REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 76, 054303 (2005), Modular multichannel surface plasmon spectrometer, G. Neuert,a! S. Kufer, M. Benoit, and H. E. Gaub 2. Sensors and Actuators B 98 (2004) 208–214, Poly(dimethylsiloxane) microfluidic flow cells for surface plasmon resonance spectroscopy, Aaron R. Wheeler, Soonwoo Chah, Rebecca J. Whelan, Richard N. Zare∗
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