2005-09-22
org.kosen.entty.User@2c0724d7
조주웅(afkll)
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엘립소메타와 알파스텝을 이용하여 옹스트롱 및 나노 스케일의 두께를 측정하다보면, 측정주변환경과 실험자에 의해 측정값이 과연 정확한 것인지 의문이 들때가 많습니다. 그래서 다음과 같은 질문을 드립니다.
1. 표준 개념이 아닌, 정확한 두께측정이란? (옹스트롱,나노스케일)
2. 엘립소메타, 알파스텝 제외한 두께측정방법 및 장비는?
3. 두께 측정 data에 신뢰성을 부여하는 방법?
4. 두께 측정의 표준은 있는가? 있다면 무엇인가? (옹스트롱,나노스케일)
답변을 부탁드리겠습니다..^^
- plasma
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
김용찬님의 답변
2005-09-23- 0
> > >엘립소메타와 알파스텝을 이용하여 옹스트롱 및 나노 스케일의 두께를 측정하다보면, 측정주변환경과 실험자에 의해 측정값이 과연 정확한 것인지 의문이 들때가 많습니다. 그래서 다음과 같은 질문을 드립니다. > >1. 표준 개념이 아닌, 정확한 두께측정이란? (옹스트롱,나노스케일) >2. 엘립소메타, 알파스텝 제외한 두께측정방법 및 장비는? >3. 두께 측정 data에 신뢰성을 부여하는 방법? >4. 두께 측정의 표준은 있는가? 있다면 무엇인가? (옹스트롱,나노스케일) 엘립소메타는 레이저에서 나오는 빛이 어떠한 박막이 있는 샘플에 반사되어 나오는 빛을 측정하여 박막의 두께 및 굴절률을 동시에 측정할 수 있는 기기이고, 알파스텝은 probe에 의해 측정하고자 하는 샘플의 표면을 스캔해서 표면의 단차를 이용한 두께 측정 장비입니다. 이러한 장비를 이용해서 간단히 두께를 측정하기에는 오차도 크고 질문하신대로 데이타의 신뢰성도 의심이 될 만 합니다. 옹스트롱이나 나노 단위라 함은 수~수십 원자 배열 크기의 두께 입니다. 아마도 질문하신 분의 의도대로라면, 박막의 정확한 두께 측정이 필요하신것 같습니다. 정확한 두께 측정법은 투과전자현미경(TEM) 전자빔에 의한 계산방법과 고배율전자현미경이미지(HREM)을 통한 원자간격을 직접 측정하는 방법이 있습니다. 어느 방법이든지 완벽할 수는 없겠지만 거의 정확할 거라고 판단됩니다. 또하나의 방법은 XPS를 이용하는 방법입니다. ESCA 장비를 이용하여 표면을 원자 단위로 제거하다 보면 박막의 원자층의 두께 측정이 가능합니다. 물론 Auger를 이용해서 depth profile을 하면 두께 측정이 가능하기도 합니다. 더 자세한 질문을 원하시면 메일 주시기 바랍니다. -
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송준희님의 답변
2005-09-23- 0
화학연구원의 박막재료연구실을 추천합니다. X선 광전자 분광법과 Auger 전자 분광법의 자세한 설명이 있습니다. http://www.krict.re.kr/~tfml/ -
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김쌍조님의 답변
2005-09-29- 0
물론 XPS/AES등으로 DEPTH를 볼 수 있읍니다만 오차 범위가 존재하는 걸로 알고 있습니다. 문제는 DEPTH를 해보면 경계부분이 정확하게 나타나지 않는다는 것입니다. 확산층인지는 자세히 모르지만 그것도 정확한 두께를 알수는 없으리라 판단됩니다. 수나노 정도의 두께라면 간단하게 AFM을 측정하는게 어떨지 생각됩니다. 알파스텝보다 훨씬 작은 팁이므로 분해능은 뛰어나리라 생각되구요. -
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이준호님의 답변
2005-10-06- 0
최근에는 AFM을 이용하여 두께를 측정하는 경우가 많이 있습니다. AFM을 이용하여 두께를 측정하다보면 측정하고 있는 두께가 실제 두께인지 믿기 어려운 경우가 있습니다. 더우기 옹스트롱 단위에서 그 신뢰성을 본다는 것은 매우 어려운 일 인 것 같습니다. 이러한 경우 두께 측정의 표준은 단결정 표면에서 원자간 거리를 이용합니다. AFM을 이용할 경우 분석 샘플의 종류에 따라 Non-contact, Contact, Tapping Mode등을 사용합니다. 원자 단위의 해상도가 가능한 경우 Non-contact Mode를 이용하는 것이 바람직합니다. 경우에 따라서는 원자단위의 해상도를 얻기 힘들 경우 Contact Mode를 사용합니다. 이경우 재료 표면의 contamination이 발생할 수 있습니다.