2005-11-02
org.kosen.entty.User@78bfef81
류명관(mkryumk)
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수천 Å 두께의 film 특히, SiO2, SiNx막의 열전도도 자료나 문헌 그리고 측정방법등을 찾고있습니다...
또, film간의 계면을 통한 열전도도나 그 측정방법, data도 있으면 더좋고요.
- 열전도도
- SiO2
- SiNx film
- CVD
- sputter
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답변 1
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답변
이재명님의 답변
2005-11-03- 0
>수천 Å 두께의 film 특히, SiO2, SiNx막의 열전도도 자료나 문헌 그리고 측정방법등을 찾고있습니다... > >또, film간의 계면을 통한 열전도도나 그 측정방법, data도 있으면 더좋고요. 잘은 모르겠지만, 반도체 디바이스 관련 연구를 하시는것 같네요. 학교보다는 회사에 계신분들이 보다 실제적인 데이타를 많이 가지고 계실것 같네요. 몇편의 논문을 첨부합니다. 첫번째 논문이 가장 도움이 될것 같습니다. 마지막 논문은 측정법과 관련된 논문입니다. 그외 논문도 도움이 되리라 믿습니다.